高溫爐安全操作規(guī)程

 1 準(zhǔn)備工作

　　a,檢查電源線接觸是否良好

　　b,檢查連接線是否正常

　　c,檢查冷卻水是否正常

　　d,檢查密封性是否正常

　　e, 準(zhǔn)備所需工具：無塵紙、*、帆布手套、作業(yè)手套、耐高溫手套、石墨推車、不銹鋼托盤

　　2 開爐

　　a,打開主電源開關(guān)

　　b, 向爐體充氬氣至大氣壓，打開爐體前門，取下石墨蓋板

　　c, 將輸送車開關(guān)打至 OUT，依次操作 UP - FORWARD - UP - BACK - DOWN 按鈕，取出 。石墨坩堝，依次放置于石墨推車上輸送車開關(guān).

　　d, 清爐 清理爐膛內(nèi)壁、石墨件及保溫材料上的污物

　　3裝料

　　a,將石墨坩堝放置于輸送車平臺上，使用限位桿確定其位置，依次裝入硅料。

　　b、拔出限位桿，輸送車開關(guān)打至 IN，依次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN，將坩堝裝入爐膛內(nèi)，并確定輸送車會到初始位置。

　　c、裝入石墨蓋板，擰緊石墨螺栓，關(guān)緊爐門

　　4 抽氣

　　a、檢查爐門是否關(guān)緊，真空系統(tǒng)是否密封

　　b、置 DP 按鈕于 DP ON，打開干式真空泵，打開真空計開關(guān) P1G1，打開干式真空泵 。閥門，開始抽氣測試泄漏率，

　　c、當(dāng)壓力表指示為 50Pa是關(guān)閉真空泵閥門(非真空泵)露鋁≤1Pa/min，打開氬氣閥門充氬氣(20L/min)。

　　d. 加熱 先打開水環(huán)泵 再按 RUN，開始工藝加熱。

　　5.冷卻

　　a、加熱結(jié)束后，按工藝條件進(jìn)行冷卻；

　　b、爐內(nèi)溫度降低至 200℃以下，壓力達(dá)到一個大氣壓后才可打開爐門，繼續(xù)冷卻。

　　c、*冷卻至室溫后，將輸送車開關(guān)打至 OUT，依次操作 UP - FORWARD - UP - BACK- DOWN 按鈕，取出石墨坩堝，取出硅料，并進(jìn)行分裝。

　　d、清掃爐體后關(guān)閉爐門，將爐體抽成負(fù)壓。

　　e、清理并妥善放置其它附屬物件。